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        多晶硅高温扩散炉|太阳能电池片扩散炉

        发布日期 :2013-05-18 11:51编号:1653178
        多晶硅高温扩散炉|太阳能电池片扩散炉
        供货厂家
        青岛奥博仪表设备有限公司
        报价
        150000.00元/个
        库存
        100 个
        联系人
        王 爱芳(先生)
        电话
        0532-66737508
        手机
        15806547920
        询价邮件
        978560078@qq.com
        区域
        山东-青岛
        地址
        城阳区中兴一路3号
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        详细介绍
        产品名称:多晶硅高温扩散炉|太阳能电池片扩散炉
        产品链接:http://www.networkplus-n10-004.com/cz286o1653178.htm
        手机版链接:https://m.trustexporter.com/cz1653178.htm
        多晶硅高温扩散炉|太阳能电池片扩散炉
        多晶硅高温扩散炉
        多晶硅高温扩散炉技术规格和技术性能根据贵公司的工艺要求,我公司技术人员特制订扩散炉、氧化炉、退火炉设计方案。具体方案见下述。
        1、多晶硅高温扩散炉额定功率: 35KW,升温功率:30KW保温功率15:KW2、多晶硅高温扩散炉电源电压: 380V3、多晶硅高温扩散炉加热器电压: 0~100V(三相)4、多晶硅高温扩散炉加热方式: 铁铬铝丝管型加热器三段控温加热5、额定温度: 1200℃
        6、升温速率:15℃/min7、工作室尺寸: Φ220×600mm8、温度均匀性和控温精度:±1℃(特殊要求±0.5℃)9、恒温区长度:大于等于600mm(或按用户要求)
        10、多晶硅高温扩散炉温控系统具有超温报警和断偶保护功能
        11、多晶硅高温扩散炉温控:9段81条曲线,可由仪表单独调用,亦可通过PLC或工控机来调用,操控简便,可模拟工况温度显示过程曲线和当前状态
        12、多晶硅高温扩散炉质量流量控制:由质量流量计和PLC触摸屏组成的质量流量控制系统,操作简单,控制精度高达±2﹪,可根据温度(或时间)设置阀门的开启和关闭。
        13、多晶硅高温扩散炉推拉舟控制系统:(半导体生产特制此功能)由直线导轨和步进伺服控制电机组成的推拉舟执行机构在由PLC触摸屏(或PC工控机)控制下推舟准确度±1mm,且运行平稳无抖动现象。
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